❏MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究(15206015)
【研究テーマ】生産工学・加工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2003 - 2005
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】本研究では,薄膜金属ガラスと,その微細加工法に関する基礎的,応用的研究を発展させ,従来に無い優れた特性を有するMEMS材料の実現と,三次元立体MEMSの製作を目的とした.具体的には,以下の項目について検討,解明した. ◎基礎的研究 ・新しい薄膜金属ガラスの探索:コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法により,Ru基の薄膜金属ガラス(Ru_<75>Zr_<24>Al_1,ガラス転...
❏基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作研究(13555073)
【研究テーマ】知能機械学・機械システム
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2001 - 2002
【研究代表者】秦 誠一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (50293056)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他11件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラスを用いて,基板面外に駆動可能な新しいマイクロアクチュエータ(基板面外駆動マイクロアクチュエータ)を試作するために,以下の検討を行うことを目的とした. (1)新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータの考案. (2)精度の高い立体的構造を有する基板面外駆動マイクロアクチュエータの製作方法の検討. (3)試作した基板面外駆動マイクロアクチュエータの変位特性,応答性の評価と光ピ...
❏薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプローブへの応用(12355007)
【研究テーマ】機械工作・生産工学
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2000 - 2002
【研究代表者】下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
【キーワード】MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス (他8件)
【概要】1.研究目的 薄膜金属ガラス三次元微細はりを高精度に再現性良く微細成形する技術を確立するために以下の研究を行う. (1)各種薄膜金属ガラスの成膜条件と,その物性の検討. (2)薄膜金属ガラスの過冷却液体域利用した三次元微細成形方法,およびその成形精度,再現性の検討. (3)さらに,応用として薄膜金属ガラス微細梁をプローブとした半導体検査機器への展開. 2.研究成果 (1)薄膜金属ガラスの各種物性値...