ナノイオン交換リソグラフィ法の開発と応用
【研究分野】無機材料・物性
【研究キーワード】
イオン交換 / ガラス / リソグラフィ / Ag細線
【研究成果の概要】
ガラスの表面および表面近傍内部にナノメートルオーダーの屈折率分布および構造体を形成する「ナノイオン交換リソグラフィ法」の開発を行った。本手法に最適な新ガラス組成を開発し、ナノメートルオーダーのリソグラフを可能とするNH^+_4/Ag^+/Na^+を複層ガラスの作製に成功した。このガラスを用い、ガラス内部のコア層よりAgイオンを表面に引き出し、最小線幅270nmのAg細線を正確に描画することに成功し、メタマテリアル素子へ応用展開ができることを確認した。
【研究代表者】
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2009 - 2011
【配分額】18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)