【研究テーマ】計算機システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】高橋 篤司 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (30236260)

【キーワード】計算機システム / 設計技術 / 設計工学 / 製造容易化 / リソグラフィ

【概要】本研究は，ウエハ上に微細な回路パターンを実現するための次世代リソグラフィ技術として有望な2回露光技術，側壁プロセス技術などを効果的に用いて，高性能な集積回路を効率よく実現するために必要となる物理設計技術として，パターン分割アルゴリズム，折れ曲がり制約付最短路アルゴリズム，光強度分布見積もりアルゴリズムなど，製造と設計の双方に親和性の高い実用に十分耐え得る様々な物理設計技術を開発した． ...

【研究テーマ】計算機システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】高橋 篤司 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (30236260)

【キーワード】計算機システム / 設計技術 / 設計工学 / 製造容易化 / リソグラフィ

【概要】本研究は，ウエハ上に微細な回路パターンを実現するための次世代リソグラフィ技術として有望な2回露光技術，側壁プロセス技術などを効果的に用いて，高性能な集積回路を効率よく実現するために必要となる物理設計技術として，パターン分割アルゴリズム，折れ曲がり制約付最短路アルゴリズム，光強度分布見積もりアルゴリズムなど，製造と設計の双方に親和性の高い実用に十分耐え得る様々な物理設計技術を開発した． ...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】電子機器工学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1989 - 1990

【研究代表者】生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)

【キーワード】集束イオンビ-ム / 超格子 / 電界効果トランジスタ / 量子細線 / 量子干渉効果 (他9件)

【概要】従来のトランジスタ-とは異なる新しい機能デバイスとして動作する超格子ソ-ス電界効果トランジスタ-を、集束イオンビ-ム技術を用いて試作し、その有用性を示すと共に、製作プロセスの基礎技術の確立を目指して研究を行った。またさらに、集束イオンビ-ム技術を用いて量子細線電界効果トランジスタを試作し、極低温における動作も併せて研究した。 集束イオンビ-ム注入装置を用いたサブミクロン加工精度の一層の向上を図った...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】高分子合成

【研究種目】一般研究(C)

【研究期間】1986 - 1987

【研究代表者】石津 浩二 東京工業大学, 工学部・高分子工学科, 助手 (90016650)

【キーワード】液相エピタキシャル膜 / 多相構造制御 / 垂直・水平配向ドメイン / ブロック・グラフト共重合体 / リソグラフィ (他13件)

【概要】共重合体または単独重合体のミクロ不均一または均一構造界面と上層膜(共重合体や混合系)とのポリマーセグメント間相互作用に基づく液相エピタキシャル成長によるミクロドメインの配向制御可能性を検討し, この結果をモザイク荷重膜, 抗血栓性医用材料へ応用することを目的とし, 以下の成果をえた. 1.イミダゾール基をもつアゾ系開始剤によるラジカル1分子停止系でポリ酢酸ビニル, ポリスチレン(PS)等の片末端イ...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2007 - 2009

【研究代表者】松本 佳宣 慶應義塾大学, 理工学部, 准教授 (60252318)

【キーワード】UV-LED / リソグラフィ / 曲面形成 / 光学素子 / マイクロレンズ (他8件)

【概要】本研究では,UV-LEDアレイからの紫外線を用いてガラス基板を透過させてかつ回転動作を伴う露光を行うことで,曲面構造を作製する新たな曲面形成法を提案した。表面実装型LEDを高密度に配列したUV-LEDアレイを用いて従来に比べ露光時間を従来の14分から7分に短縮して直径220μm～550μm,高さ100μm～280μmのレジスト曲面形状を作製した。得られた構造体の形状をシリコン樹脂の一種であるPDM...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2007 - 2009

【研究代表者】松本 佳宣 慶應義塾大学, 理工学部, 准教授 (60252318)

【キーワード】UV-LED / リソグラフィ / 曲面形成 / 光学素子 / マイクロレンズ (他8件)

【概要】本研究では,UV-LEDアレイからの紫外線を用いてガラス基板を透過させてかつ回転動作を伴う露光を行うことで,曲面構造を作製する新たな曲面形成法を提案した。表面実装型LEDを高密度に配列したUV-LEDアレイを用いて従来に比べ露光時間を従来の14分から7分に短縮して直径220μm～550μm,高さ100μm～280μmのレジスト曲面形状を作製した。得られた構造体の形状をシリコン樹脂の一種であるPDM...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2007 - 2009

【研究代表者】松本 佳宣 慶應義塾大学, 理工学部, 准教授 (60252318)

【キーワード】UV-LED / リソグラフィ / 曲面形成 / 光学素子 / マイクロレンズ (他8件)

【概要】本研究では,UV-LEDアレイからの紫外線を用いてガラス基板を透過させてかつ回転動作を伴う露光を行うことで,曲面構造を作製する新たな曲面形成法を提案した。表面実装型LEDを高密度に配列したUV-LEDアレイを用いて従来に比べ露光時間を従来の14分から7分に短縮して直径220μm～550μm,高さ100μm～280μmのレジスト曲面形状を作製した。得られた構造体の形状をシリコン樹脂の一種であるPDM...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2007 - 2009

【研究代表者】松本 佳宣 慶應義塾大学, 理工学部, 准教授 (60252318)

【キーワード】UV-LED / リソグラフィ / 曲面形成 / 光学素子 / マイクロレンズ (他8件)

【概要】本研究では,UV-LEDアレイからの紫外線を用いてガラス基板を透過させてかつ回転動作を伴う露光を行うことで,曲面構造を作製する新たな曲面形成法を提案した。表面実装型LEDを高密度に配列したUV-LEDアレイを用いて従来に比べ露光時間を従来の14分から7分に短縮して直径220μm～550μm,高さ100μm～280μmのレジスト曲面形状を作製した。得られた構造体の形状をシリコン樹脂の一種であるPDM...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】物理計測・光学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1992 - 1994

【研究代表者】伊藤 良一 東京大学, 工学部, 教授 (40133102)

【キーワード】非線形光学 / 有機結晶 / 光学2高調波発生 / 波長変換 / 光導波路素子 (他10件)

【概要】1.素子設計 Cerenkov放射型SHG素子を中心に各種の波長変換素子の基本特性に関して詳細な理論解析をおこない,高効率素子を実現するための設計指針を示した。有機結晶の潜在能力を最大限に引き出して利用するためには,擬似位相整合を達成する必要があることがあきらかとなった。 2.素子作製技術の開発 各種の有機非線形光学結晶に対して加工をおこない、有機結晶に適した微細加工技術を確立した。水溶性無機レジ...

【研究テーマ】物理計測・光学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1992 - 1994

【研究代表者】伊藤 良一 東京大学, 工学部, 教授 (40133102)

【キーワード】非線形光学 / 有機結晶 / 光学2高調波発生 / 波長変換 / 光導波路素子 (他10件)

【概要】1.素子設計 Cerenkov放射型SHG素子を中心に各種の波長変換素子の基本特性に関して詳細な理論解析をおこない,高効率素子を実現するための設計指針を示した。有機結晶の潜在能力を最大限に引き出して利用するためには,擬似位相整合を達成する必要があることがあきらかとなった。 2.素子作製技術の開発 各種の有機非線形光学結晶に対して加工をおこない、有機結晶に適した微細加工技術を確立した。水溶性無機レジ...

【研究テーマ】物理計測・光学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1992 - 1994

【研究代表者】伊藤 良一 東京大学, 工学部, 教授 (40133102)

【キーワード】非線形光学 / 有機結晶 / 光学2高調波発生 / 波長変換 / 光導波路素子 (他10件)

【概要】1.素子設計 Cerenkov放射型SHG素子を中心に各種の波長変換素子の基本特性に関して詳細な理論解析をおこない,高効率素子を実現するための設計指針を示した。有機結晶の潜在能力を最大限に引き出して利用するためには,擬似位相整合を達成する必要があることがあきらかとなった。 2.素子作製技術の開発 各種の有機非線形光学結晶に対して加工をおこない、有機結晶に適した微細加工技術を確立した。水溶性無機レジ...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2007 - 2009

【研究代表者】松本 佳宣 慶應義塾大学, 理工学部, 准教授 (60252318)

【キーワード】UV-LED / リソグラフィ / 曲面形成 / 光学素子 / マイクロレンズ (他8件)

【概要】本研究では,UV-LEDアレイからの紫外線を用いてガラス基板を透過させてかつ回転動作を伴う露光を行うことで,曲面構造を作製する新たな曲面形成法を提案した。表面実装型LEDを高密度に配列したUV-LEDアレイを用いて従来に比べ露光時間を従来の14分から7分に短縮して直径220μm～550μm,高さ100μm～280μmのレジスト曲面形状を作製した。得られた構造体の形状をシリコン樹脂の一種であるPDM...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2009 - 2011

【研究代表者】矢野 哲司 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (90221647)

【キーワード】イオン交換 / ガラス / リソグラフィ / Ag細線

【概要】ガラスの表面および表面近傍内部にナノメートルオーダーの屈折率分布および構造体を形成する「ナノイオン交換リソグラフィ法」の開発を行った。本手法に最適な新ガラス組成を開発し、ナノメートルオーダーのリソグラフを可能とするNH^+_4/Ag^+/Na^+を複層ガラスの作製に成功した。このガラスを用い、ガラス内部のコア層よりAgイオンを表面に引き出し、最小線幅270nmのAg細線を正確に描画することに成功し...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2007 - 2009

【研究代表者】松本 佳宣 慶應義塾大学, 理工学部, 准教授 (60252318)

【キーワード】UV-LED / リソグラフィ / 曲面形成 / 光学素子 / マイクロレンズ (他8件)

【概要】本研究では,UV-LEDアレイからの紫外線を用いてガラス基板を透過させてかつ回転動作を伴う露光を行うことで,曲面構造を作製する新たな曲面形成法を提案した。表面実装型LEDを高密度に配列したUV-LEDアレイを用いて従来に比べ露光時間を従来の14分から7分に短縮して直径220μm～550μm,高さ100μm～280μmのレジスト曲面形状を作製した。得られた構造体の形状をシリコン樹脂の一種であるPDM...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】物理計測・光学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1992 - 1994

【研究代表者】伊藤 良一 東京大学, 工学部, 教授 (40133102)

【キーワード】非線形光学 / 有機結晶 / 光学2高調波発生 / 波長変換 / 光導波路素子 (他10件)

【概要】1.素子設計 Cerenkov放射型SHG素子を中心に各種の波長変換素子の基本特性に関して詳細な理論解析をおこない,高効率素子を実現するための設計指針を示した。有機結晶の潜在能力を最大限に引き出して利用するためには,擬似位相整合を達成する必要があることがあきらかとなった。 2.素子作製技術の開発 各種の有機非線形光学結晶に対して加工をおこない、有機結晶に適した微細加工技術を確立した。水溶性無機レジ...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】電子機器工学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1989 - 1990

【研究代表者】生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)

【キーワード】集束イオンビ-ム / 超格子 / 電界効果トランジスタ / 量子細線 / 量子干渉効果 (他9件)

【概要】従来のトランジスタ-とは異なる新しい機能デバイスとして動作する超格子ソ-ス電界効果トランジスタ-を、集束イオンビ-ム技術を用いて試作し、その有用性を示すと共に、製作プロセスの基礎技術の確立を目指して研究を行った。またさらに、集束イオンビ-ム技術を用いて量子細線電界効果トランジスタを試作し、極低温における動作も併せて研究した。 集束イオンビ-ム注入装置を用いたサブミクロン加工精度の一層の向上を図った...

【研究テーマ】電子機器工学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1989 - 1990

【研究代表者】生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)

【キーワード】集束イオンビ-ム / 超格子 / 電界効果トランジスタ / 量子細線 / 量子干渉効果 (他9件)

【概要】従来のトランジスタ-とは異なる新しい機能デバイスとして動作する超格子ソ-ス電界効果トランジスタ-を、集束イオンビ-ム技術を用いて試作し、その有用性を示すと共に、製作プロセスの基礎技術の確立を目指して研究を行った。またさらに、集束イオンビ-ム技術を用いて量子細線電界効果トランジスタを試作し、極低温における動作も併せて研究した。 集束イオンビ-ム注入装置を用いたサブミクロン加工精度の一層の向上を図った...

【研究テーマ】電子機器工学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1989 - 1990

【研究代表者】生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)

【キーワード】集束イオンビ-ム / 超格子 / 電界効果トランジスタ / 量子細線 / 量子干渉効果 (他9件)

【概要】従来のトランジスタ-とは異なる新しい機能デバイスとして動作する超格子ソ-ス電界効果トランジスタ-を、集束イオンビ-ム技術を用いて試作し、その有用性を示すと共に、製作プロセスの基礎技術の確立を目指して研究を行った。またさらに、集束イオンビ-ム技術を用いて量子細線電界効果トランジスタを試作し、極低温における動作も併せて研究した。 集束イオンビ-ム注入装置を用いたサブミクロン加工精度の一層の向上を図った...

【研究テーマ】物理計測・光学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1992 - 1994

【研究代表者】伊藤 良一 東京大学, 工学部, 教授 (40133102)

【キーワード】非線形光学 / 有機結晶 / 光学2高調波発生 / 波長変換 / 光導波路素子 (他10件)

【概要】1.素子設計 Cerenkov放射型SHG素子を中心に各種の波長変換素子の基本特性に関して詳細な理論解析をおこない,高効率素子を実現するための設計指針を示した。有機結晶の潜在能力を最大限に引き出して利用するためには,擬似位相整合を達成する必要があることがあきらかとなった。 2.素子作製技術の開発 各種の有機非線形光学結晶に対して加工をおこない、有機結晶に適した微細加工技術を確立した。水溶性無機レジ...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】電子機器工学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1989 - 1990

【研究代表者】生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)

【キーワード】集束イオンビ-ム / 超格子 / 電界効果トランジスタ / 量子細線 / 量子干渉効果 (他9件)

【概要】従来のトランジスタ-とは異なる新しい機能デバイスとして動作する超格子ソ-ス電界効果トランジスタ-を、集束イオンビ-ム技術を用いて試作し、その有用性を示すと共に、製作プロセスの基礎技術の確立を目指して研究を行った。またさらに、集束イオンビ-ム技術を用いて量子細線電界効果トランジスタを試作し、極低温における動作も併せて研究した。 集束イオンビ-ム注入装置を用いたサブミクロン加工精度の一層の向上を図った...

【研究テーマ】電子機器工学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1989 - 1990

【研究代表者】生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)

【キーワード】集束イオンビ-ム / 超格子 / 電界効果トランジスタ / 量子細線 / 量子干渉効果 (他9件)

【概要】従来のトランジスタ-とは異なる新しい機能デバイスとして動作する超格子ソ-ス電界効果トランジスタ-を、集束イオンビ-ム技術を用いて試作し、その有用性を示すと共に、製作プロセスの基礎技術の確立を目指して研究を行った。またさらに、集束イオンビ-ム技術を用いて量子細線電界効果トランジスタを試作し、極低温における動作も併せて研究した。 集束イオンビ-ム注入装置を用いたサブミクロン加工精度の一層の向上を図った...

【研究テーマ】物理計測・光学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1992 - 1994

【研究代表者】伊藤 良一 東京大学, 工学部, 教授 (40133102)

【キーワード】非線形光学 / 有機結晶 / 光学2高調波発生 / 波長変換 / 光導波路素子 (他10件)

【概要】1.素子設計 Cerenkov放射型SHG素子を中心に各種の波長変換素子の基本特性に関して詳細な理論解析をおこない,高効率素子を実現するための設計指針を示した。有機結晶の潜在能力を最大限に引き出して利用するためには,擬似位相整合を達成する必要があることがあきらかとなった。 2.素子作製技術の開発 各種の有機非線形光学結晶に対して加工をおこない、有機結晶に適した微細加工技術を確立した。水溶性無機レジ...

【研究テーマ】電子機器工学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1989 - 1990

【研究代表者】生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)

【キーワード】集束イオンビ-ム / 超格子 / 電界効果トランジスタ / 量子細線 / 量子干渉効果 (他9件)

【概要】従来のトランジスタ-とは異なる新しい機能デバイスとして動作する超格子ソ-ス電界効果トランジスタ-を、集束イオンビ-ム技術を用いて試作し、その有用性を示すと共に、製作プロセスの基礎技術の確立を目指して研究を行った。またさらに、集束イオンビ-ム技術を用いて量子細線電界効果トランジスタを試作し、極低温における動作も併せて研究した。 集束イオンビ-ム注入装置を用いたサブミクロン加工精度の一層の向上を図った...

【研究テーマ】電子機器工学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1989 - 1990

【研究代表者】生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)

【キーワード】集束イオンビ-ム / 超格子 / 電界効果トランジスタ / 量子細線 / 量子干渉効果 (他9件)

【概要】従来のトランジスタ-とは異なる新しい機能デバイスとして動作する超格子ソ-ス電界効果トランジスタ-を、集束イオンビ-ム技術を用いて試作し、その有用性を示すと共に、製作プロセスの基礎技術の確立を目指して研究を行った。またさらに、集束イオンビ-ム技術を用いて量子細線電界効果トランジスタを試作し、極低温における動作も併せて研究した。 集束イオンビ-ム注入装置を用いたサブミクロン加工精度の一層の向上を図った...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】計算機システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】高橋 篤司 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (30236260)

【キーワード】計算機システム / 設計技術 / 設計工学 / 製造容易化 / リソグラフィ

【概要】本研究は，ウエハ上に微細な回路パターンを実現するための次世代リソグラフィ技術として有望な2回露光技術，側壁プロセス技術などを効果的に用いて，高性能な集積回路を効率よく実現するために必要となる物理設計技術として，パターン分割アルゴリズム，折れ曲がり制約付最短路アルゴリズム，光強度分布見積もりアルゴリズムなど，製造と設計の双方に親和性の高い実用に十分耐え得る様々な物理設計技術を開発した． ...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】物理学一般

【研究種目】萌芽的研究

【研究期間】1996 - 1997

【研究代表者】寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)

【キーワード】ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー (他12件)

【概要】(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生 半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。 (2)プラズマ環境STMの開発 プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のよ...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】物理計測・光学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1992 - 1994

【研究代表者】伊藤 良一 東京大学, 工学部, 教授 (40133102)

【キーワード】非線形光学 / 有機結晶 / 光学2高調波発生 / 波長変換 / 光導波路素子 (他10件)

【概要】1.素子設計 Cerenkov放射型SHG素子を中心に各種の波長変換素子の基本特性に関して詳細な理論解析をおこない,高効率素子を実現するための設計指針を示した。有機結晶の潜在能力を最大限に引き出して利用するためには,擬似位相整合を達成する必要があることがあきらかとなった。 2.素子作製技術の開発 各種の有機非線形光学結晶に対して加工をおこない、有機結晶に適した微細加工技術を確立した。水溶性無機レジ...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2009 - 2011

【研究代表者】矢野 哲司 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (90221647)

【キーワード】イオン交換 / ガラス / リソグラフィ / Ag細線

【概要】ガラスの表面および表面近傍内部にナノメートルオーダーの屈折率分布および構造体を形成する「ナノイオン交換リソグラフィ法」の開発を行った。本手法に最適な新ガラス組成を開発し、ナノメートルオーダーのリソグラフを可能とするNH^+_4/Ag^+/Na^+を複層ガラスの作製に成功した。このガラスを用い、ガラス内部のコア層よりAgイオンを表面に引き出し、最小線幅270nmのAg細線を正確に描画することに成功し...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2007 - 2009

【研究代表者】松本 佳宣 慶應義塾大学, 理工学部, 准教授 (60252318)

【キーワード】UV-LED / リソグラフィ / 曲面形成 / 光学素子 / マイクロレンズ (他8件)

【概要】本研究では,UV-LEDアレイからの紫外線を用いてガラス基板を透過させてかつ回転動作を伴う露光を行うことで,曲面構造を作製する新たな曲面形成法を提案した。表面実装型LEDを高密度に配列したUV-LEDアレイを用いて従来に比べ露光時間を従来の14分から7分に短縮して直径220μm～550μm,高さ100μm～280μmのレジスト曲面形状を作製した。得られた構造体の形状をシリコン樹脂の一種であるPDM...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】物理計測・光学

【研究種目】試験研究(B)

【研究期間】1992 - 1994

【研究代表者】伊藤 良一 東京大学, 工学部, 教授 (40133102)

【キーワード】非線形光学 / 有機結晶 / 光学2高調波発生 / 波長変換 / 光導波路素子 (他10件)

【概要】1.素子設計 Cerenkov放射型SHG素子を中心に各種の波長変換素子の基本特性に関して詳細な理論解析をおこない,高効率素子を実現するための設計指針を示した。有機結晶の潜在能力を最大限に引き出して利用するためには,擬似位相整合を達成する必要があることがあきらかとなった。 2.素子作製技術の開発 各種の有機非線形光学結晶に対して加工をおこない、有機結晶に適した微細加工技術を確立した。水溶性無機レジ...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2009 - 2011

【研究代表者】矢野 哲司 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 准教授 (90221647)

【キーワード】イオン交換 / ガラス / リソグラフィ / Ag細線

【概要】ガラスの表面および表面近傍内部にナノメートルオーダーの屈折率分布および構造体を形成する「ナノイオン交換リソグラフィ法」の開発を行った。本手法に最適な新ガラス組成を開発し、ナノメートルオーダーのリソグラフを可能とするNH^+_4/Ag^+/Na^+を複層ガラスの作製に成功した。このガラスを用い、ガラス内部のコア層よりAgイオンを表面に引き出し、最小線幅270nmのAg細線を正確に描画することに成功し...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2020-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロにクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究では，ヤモリ指先の微細毛構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に吸着（把持）・離脱可能にする「微細毛静電吸着デバイス」を創製した．これにより，従来，取り扱いが困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術を実現した．具体的には，導電性の芯を持つ微細毛静電吸着モジュールを積層したデバイスを実現し，産業化への視野も入れた大量生産可能なモジュール製作方法を提案し，従来ハンドリング困...

【研究テーマ】知能機械学・機械システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授 (30313349)

【キーワード】マイクロ・ナノメカトロニクス / 生産技術 / 生体模倣 / マイクロロボティクス / 静電チャック (他12件)

【概要】本研究の目的は，ヤモリ指先の微細構造にヒントを得て，静電力により対象物を自在に凝着（把持）・離脱可能にする「ヤモリ型静電チャック」を創成し，従来，取り扱い困難だった対象物をハンドリング（物体操作）可能にする技術（デバイスおよび制御方法）を実現することにある．具体的には，静電力発生のための電極を先端に備えた微細毛の集合体を高度に集積し，ヤモリ指先のセタ微細毛にヒントを得た構造により，対象物の表面形状...

【研究テーマ】光工学・光量子科学

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】岸 哲生 東京工業大学, 物質理工学院, 助教 (90453828)

【キーワード】ウィスパリングギャラリーモード / ガラス材料 / 微小球 / レーザー加熱 / whispering gallery mode (他18件)

【概要】ナノメートルサイズからマイクロメートルサイズの付加的構造を有するガラス微小球レーザーを作製した。透明ナノ結晶化ガラスやファラデー回転ガラスからなるガラス微小球をレーザー局所加熱法により作製した。これによりレーザー局所加熱法が様々なガラス組成において真球が作製可能であることがわかった。また、欠陥構造を付与したガラス微小球の光共振特性を電磁界解析によるシミュレーションにより解析し、欠陥構造の導入により...

【研究テーマ】計算機システム

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2013-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】高橋 篤司 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (30236260)

【キーワード】計算機システム / 設計技術 / 設計工学 / 製造容易化 / リソグラフィ

【概要】本研究は，ウエハ上に微細な回路パターンを実現するための次世代リソグラフィ技術として有望な2回露光技術，側壁プロセス技術などを効果的に用いて，高性能な集積回路を効率よく実現するために必要となる物理設計技術として，パターン分割アルゴリズム，折れ曲がり制約付最短路アルゴリズム，光強度分布見積もりアルゴリズムなど，製造と設計の双方に親和性の高い実用に十分耐え得る様々な物理設計技術を開発した． ...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】無機材料・物性

【研究種目】基盤研究(C)

【研究期間】2013-04-01 - 2017-03-31

【研究代表者】松下 祥子 東京工業大学, 物質理工学院, 准教授 (50342853)

【キーワード】フォトニック結晶 / 電気化学 / リソグラフィー / ３次元 / 酸化チタン (他20件)

【概要】光の半導体と呼ばれるフォトニック結晶の光化学反応への応用を念頭に、本研究では、光酸化還元能を持つ酸化チタンによるフルフォトニックバンドギャップ（３次元に完全に光を閉じ込める能力）を有するフォトニック結晶構造の探索を行った。 本研究の成果は大きく３つに分かれる。１）酸化チタン/電解液で構成されるフルフォトニックバンドギャップを持つ構造体を計算上発見し、２）そのような構造体を作製するために酸化チタンの...

【研究テーマ】医用生体工学・生体材料学

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2010 - 2012

【研究代表者】八木 透 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 准教授 (90291096)

【キーワード】医用マイクロ・ナノマシン / ギャップジャンクション / 人工脂質二重層 / 電気刺激 / ブレインマシンインタフェース (他11件)

【概要】管状膜タンパク質は細胞膜中に小孔を形成する管状のタンパク質であり,それが持つイオン透過性は細胞刺激デバイス等への利用が期待できる.膜タンパク質を利用したデバイスは高い生体適合性と空間分解能を持つことが期待でき,多数の細胞を個別に同時刺激する使用方法が想定される.しかし,それぞれの細胞に対する膜タンパク質のイオン透過を同時に計測することは現在利用されている電気計測では難しい.そこで我々は,この課題を...

【研究テーマ】マイクロ・ナノデバイス

【研究種目】挑戦的萌芽研究

【研究期間】2012-04-01 - 2016-03-31

【研究代表者】齋藤 滋規 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授 (30313349)

【キーワード】表面電位 / マイクロセンシング / 同時多極 / マイクロコンタクト / マイクロセンサー (他11件)

【概要】本研究は，半導体集積回路(IC)や微小電子機械(MEMS)などにおけるマイクロ領域の導通テストを同時多極に可能にするセンシングデバイスを開発することを目的として開始されたが，全期間にわたる研究活動を通じて，同時多極マイクロセンシングデバイスの可能性は，導通デバイス以上に表面電位計測にあるという理解に至った．そのため，後半においては，対象物体の表面電位分布計測に焦点を絞り，「表面電位計測時における走...