光散乱法を用いた非接触圧電特性評価システムの開発
【研究分野】計測工学
【研究キーワード】
計測システム / 光散乱 / 圧電 / 半導体 / 非接触 / 音速
【研究成果の概要】
Brillouin光散乱法を用いて圧電性が存在すると予想されるGaN結晶中の非接触・非破壊音速測定に成功した。Brillouin光散乱ではGHz域の音速測定が可能であり、導電性の試料でもキャリアの影響を受けずに圧電性を評価できる可能性がある。まず、本研究ではこの手法を用いて導電性GaN試料の音速の温度変化係数を得ることに成功した。また、半導電性単結晶を評価したところ、縦波音速の分散が緩和挙動と似た変化を示した。音速の測定精度も、圧電に伴う音響電気効果の弱い緩和を評価可能なレベルであり、新たな計測システムを構築できた。
【研究代表者】
【研究分担者】 |
柳谷 隆彦 | 名古屋工業大学 | 工学(系)研究科(研究院) | 助教 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】挑戦的萌芽研究
【研究期間】2012 - 2013
【配分額】4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)