「半導体」に関するサイレントキーワード「計測システム」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】光散乱法を用いた非接触圧電特性評価システムの開発 【研究代表者】松川 真美 同志社大学 理工学部 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060288602/ 【研究分担者】 柳谷 隆彦 名古屋工業大学 工学(系)研究科(研究院) 助教 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010450652/