溶融塩-シリコン交換反応によるβ-鉄シリサイド半導体創製の物理化学
【研究分野】金属生産工学
【研究キーワード】
環境材料 / 金属生産工学 / 結晶成長 / 太陽光発電 / 表面・界面物性 / β-FeSi_2 / 環境半導体 / 溶融塩 / 陽イオン交換反応
【研究成果の概要】
Fe-Si二元系液相からの直接生成が困難であったβ-FeSi2を、溶融塩-Si交換反応によりSiウェハ表面に析出させる方法を考案した。さらに、この析出方法を拡張させ、β-FeSi2薄膜へのCo、Niなどのドーパントの導入方法を提案し、作製した薄膜に対して電気特性および光学特性を評価した。
【研究代表者】
【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2007 - 2009
【配分額】20,280千円 (直接経費: 15,600千円、間接経費: 4,680千円)