有機トランジスタにおける低接触抵抗の発現メカニズム解明と高速デバイス開発
【研究分野】応用物性
【研究キーワード】
接触抵抗 / 有機トランジスタ / フレキシブル / 有機エレクトロニクス / フレキシブルエレクトロニクス
【研究成果の概要】
本研究では、有機FETのフレキシブル高速動作デバイスの実現に向けた取り組みを行った。その結果、Auトップコンタクトデバイスにおいて、アニール処理によって接触抵抗を大幅に低減する機構を明らかにした。また、巨大な接触抵抗に起因する有機FETの移動度過大評価についてもその原因を明らかにする事ができた。また、プロセス条件の最適化により、世界最小の有機FET接触抵抗（50 ohm・cm）を実現した。加えて、フレキシブル有機FET回路の作製にも成功し、高性能なフレキシブル低電圧駆動有機FET回路の作製に成功した。
【研究代表者】
【研究分担者】 |
| 竹谷 純一 | 東京大学 | 新領域創成科学研究科 | 教授 | (Kakenデータベース) |
| 岡本 敏宏 | 東京大学 | 新領域創成科学研究科 | 准教授 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2014-04-01 - 2017-03-31
【配分額】15,990千円 (直接経費: 12,300千円、間接経費: 3,690千円)