微細ダイヤモンド工具の加工性能最大化のためのプラズマ援用クーラントシステムの構築
【研究分野】生産工学・加工学
【研究キーワード】
微細ダイヤモンド工具 / 大気圧プラズマ / 高純度SiC / 表面改質 / クーラント / 超精密加工 / 大気圧低温プラズマ / 材料加工・処理 / 精密部品加工 / ダイヤモンド工具
【研究成果の概要】
大気圧プラズマジェットを加工点に対し照射することで，加工中のクーラント効果を促進させ，微細ダイヤモンド工具の加工性能最大化を狙った．高純度SiCに対し，プラズマ援用クーラントを用いてダイヤモンド微細ミーリング加工を行った結果，平均表面粗さで1 nm以下という極めて高品位な表面が得られた．プラズマジェットを援用することで，付着物の抑止に甚大な効果があるため，工具寿命改善・加工能率の向上が見込まれる．
【研究代表者】
【研究分担者】 |
| 小茂鳥 潤 | 慶應義塾大学 | 理工学部(矢上) | 教授 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2015-04-01 - 2018-03-31
【配分額】16,380千円 (直接経費: 12,600千円、間接経費: 3,780千円)