電子線誘起蒸着を用いたナノ粒子の選択的固定によるプラズモニック回路の作製
【研究分野】ナノ材料工学
【研究キーワード】
ナノ粒子 / 配列 / プラズモン / 電子線 / プラズモニック導波路 / 表面プラズモン共鳴 / 金ナノ粒子 / パターニング
【研究成果の概要】
表面プラズモン共鳴を利用して光回路や導波路を作製できることが理論的に予測されている。それを実現する手段として、金などのナノ粒子を意図的に配列する方法がある。しかし、ナノ粒子を意図的な場所に並べることは容易ではない。そこで、基板上に粒子を意図的に配置する手法の開発を目的として本研究を行った。本手法は、基板上に金ナノ粒子を2次元的に配置し、必要な粒子を基板に固定し、不要な粒子を除去するという3段階で構成されている。この各段階について条件の検討を行い、ナノ粒子配列方法を開発した。
【研究代表者】
【研究連携者】 |
梶川 浩太郎 | 東京工業大学 | 総合理工学研究科 | 教授 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】基盤研究(C)
【研究期間】2013-04-01 - 2016-03-31
【配分額】5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)