硬X線汎用光学系構築のための集光用形状可変ミラーの開発
【研究分野】生産工学・加工学
【研究キーワード】
X 線光学 / 超精密加工 / 超精密計測 / 計測工学 / X線集光 / X線ミラー / 補償光学 / 波面制御 / 収差補正 / 形状可変ミラー / 圧電素子
【研究成果の概要】
本研究の目的は、回折限界集光を実現可能な変形精度を有する硬X線用形状可変ミラーを開発することである。フィゾー型干渉計を用いた印加電圧フィードバックシステムを構築することにより、形状可変ミラーを数nmの精度で非球面形状へ変形させることに成功した。SPring-8において集光性能評価を行い、形状可変ミラーを深さの異なる非球面形状に変形させることによって、回折限界条件下で様々なサイズの集光X線ビームを形成可能であることを確認した。
【研究代表者】
【研究種目】研究活動スタート支援
【研究期間】2011 - 2012
【配分額】2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)