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ナノ構造Saga
3次元計測Saga
ナノ構造
に関するサイレントキーワード
3次元計測
が含まれる科研費採択研究1件
ナノ構造
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3次元計測
が含まれる科研費採択研究 1件
収差補正電子顕微鏡の焦点位置スキャンによる
ナノ構造
および原子の
三次元計測
法の開発
【研究分野】薄膜・表面界面物性
【研究領域課題番号】
16K13688 (KAKENデータベースで見る)
【研究キーワード】
収差補正電子顕微鏡 / 正焦点 / 格子縞コントラスト / 金属ナノ粒子 / 三次元分布 / 非整合エピタキシャル界面 / 三次元観察 / 収差補正TEM / 焦点位置スキャン / 結晶格子縞 / ナノ粒子 / 動画計測 /
三次元計測
/ 深さ分解能 /
ナノ構造
/ 単原子
【研究成果の概要】
収差補正TEM像における結晶格子縞コントラストが正焦点で極小となる性質を利用して、焦点位置スキャン(フォーカルシリーズ)から金属ナノ粒子の三次元分布を簡便に計測する手法を開発した。またこの過程で結晶格子縞コントラストを定量的に表示できるフィルター処理の開発に成功した。これを活用して半導体の非整合エピタキシャル界面のラフネスを可視化・定量計測する手法開発にも成功した。
【研究代表者】
山崎 順 大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター 准教授
(Kakenデータベース)
【研究分担者】
田中 信夫
名古屋大学
未来材料・システム研究所
研究員
(Kakenデータベース)
【研究連携者】
齋藤 晃
名古屋大学
未来材料・システム研究所
教授
(Kakenデータベース)
郷原 一寿
北海道大学
工学研究院
教授
(Kakenデータベース)
平田 秋彦
東北大学
原子分子材料科学高等研究機構
准教授
(Kakenデータベース)
小林 慶太
大阪大学
超高圧電子顕微鏡センター
助教
(Kakenデータベース)
【研究種目】挑戦的萌芽研究
【研究期間】2016-04-01 - 2018-03-31
【配分額】3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)