局在光場動的制御を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測への挑戦
【研究分野】生産工学・加工学
【研究キーワード】
欠陥計測 / ナノ欠陥 / 光計測 / 超解像計測 / 加工計測 / 局在光 / 超解像
【研究成果の概要】
検査面上に照射した集光ビームスポットを，そのスポット分布が重複する形でナノシフト（局在光動的制御）させた際に検出される複数の遠隔場検出光散乱像群に対して，集光ビームスポット強度分布の重みと光学系の点像分布関数を考慮した逆演算を施すことで，通常の遠隔場応用光学的手法では困難な集光ビームスポット内の情報を，回折限界を超越した空間分解能で取得する，といった新しい光学的ナノ欠陥計測法の実現を目指した．理論・実験の両面から解析を行った結果，遠隔場光学系に関わらず回折限界超越を実現するという提案手法の基本コンセプトを実証した．
【研究代表者】
【研究分担者】 |
| 高増 潔 | 東京大学 | 大学院工学系研究科 | 教授 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】挑戦的萌芽研究
【研究期間】2014-04-01 - 2015-03-31
【配分額】3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)