超薄膜メカニカル光波検出素子に関する研究
【研究分野】薄膜・表面界面物性
【研究キーワード】
ナノメカニクス / プラズモニクス / 超薄膜 / 集束イオンビーム / ナノ機械振動子 / NEMS / 波長計測 / 光通信 / 光検出 / センシング / DLC振動子 / シリコン振動子 / フォトニック結晶 / ＤＬＣ振動
【研究成果の概要】
本研究の目的は、波長分割多重化通信技術を活用した次世代大容量アクセスネットワーク実現に資する光波検出素子の創出である。本研究では、ナノメカニカル振動子とプラズモニック構造を活用した波長計測に関する研究を行った。また、超高分解能な波長計測を達成するために、ナノメカニカル振動子の高Q値化に関する研究も進めた。結果として、支持部の曲げを利用した歪印加手法が振動子の高Q値化に有効であることを示した。また、U型キャビティ構造を有するナノメカニカル振動子により2.2 pmの波長分解能で光の波長計測ができることを示した。
【研究代表者】
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2011 - 2013
【配分額】3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)