セラミックスウイスカーが開拓するX線イメージング技術の新展開
【研究分野】無機材料・物性
【研究キーワード】
X線 / アルミニウム / イメージング / ウイスカー / タングステン / ターゲット / 冷陰極 / 平面 / 炭素 / 酸化物 / 銅 / 電子源 / 分解能 / 軟X線 / 生体
【研究成果の概要】
X線面光源を実現するにあたり、セラミックスウイスカーを代表とする無機系微小電子源を配列した数本のワイヤー型電子源をえて、さらに対向したターゲットからX線が電子源方向に放射(バックスキャッタ)するような新しいコンセプトのX線面光源(バックスキャッタ型X線源)を実現した。面光源から得られたX線により電子回路などのX線像が得られた。
【研究代表者】