交流電気浸透流を用いたマイクロアクチュエーションシステムの開発
【研究分野】設計工学・機械機能要素・トライボロジー
【研究キーワード】
先端機能デバイス / マイクロ・ナノデバイス / アクチュエータ / 電気浸透 / MEMS / 機械力学・制御 / マイクロポンプ / 流体 / マイクロ流動源
【研究成果の概要】
交流電気浸透は、単純な構造の固定電極による比較的低い交流電圧の印加により水などの液体の対流を発生することができる優れた特性を有し、その対流を一方向の流れに変換できれば、高機能なマイクロアクチュエーションシステムを実現することができる。そこで本研究課題では、偏流板、四角柱－スリット電極、および平板－細管電極を用いた、交流電気浸透により一方向の流れを生じる3種類のマイクロポンプを提案し、有限要素法により特性解析を行うとともに、MEMSプロセスを開発して各ポンプを試作し、それらの特性を実験的に評価し、有効性を確認した。
【研究代表者】