【研究分担者】 | ||||
大矢 忍 | 東京大学 | 大学院・工学系研究科 | 准教授 | (Kakenデータベース) |
中根 了昌 | 東京大学 | 大学院・工学系研究科 | 特任講師 | (Kakenデータベース) |
ファムナム ハイ | 東京大学 | 大学院・工学系研究科 | 特任助教 | (Kakenデータベース) |
【研究分担者】 | ||||
豊島 義明 | 株式会社東芝セミコンダクター社 | マイクロエレクトロニクス研究所 | 主査 | |
品田 賢宏 | 早稲田大学 | 理工学部・日本学術振興会 | 特別研究員 | (Kakenデータベース) |
【研究分担者】 | ||||
染谷 隆夫 | 東京大学 | 先端科学技術研究センター | 講師 | (Kakenデータベース) |
平川 一彦 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 助教授 | (Kakenデータベース) |
榊 裕之 (榊 浩之) | 東京大学 | 生産技術研究所 | 教授 | (Kakenデータベース) |
今井 元 | 所長代理 | |||
【研究分担者】 | ||||
原 謙一 | 早稲田大学 | 理工学部 | 助手 | (Kakenデータベース) |
豊島 義明 | 東芝セミコンダクター社 | マイクロエレクトロニクス研究所 | 主査 | |
松川 貴 | 早稲田大学 | 理工学部 | 助手 | (Kakenデータベース) |