【研究分野】電子デバイス・電子機器

【研究領域課題番号】16H04356 (KAKENデータベースで見る）

【研究キーワード】

圧電薄膜 / センサ / ScAlN / 抗原抗体反応 / 圧電薄膜センサ / 横波共振子 / 液中センサ / 液体中センサ

【研究成果の概要】

抗原抗体反応などの生体高分子を検出するセンサは、小型なものであることが望ましい。水晶振動子（QCM）を用いた抗原抗体反応測定において、測定感度を向上させるためには水晶板の薄片化が求められるが、機械強度の低下につながる。音響多層膜共振子（SMR）を用いることで機械強度を損なわない高感度測定が期待できるが、そこで、c軸傾斜ScAlN（傾斜角度: 48°）を用いた音響多層膜共振子を作製し、液体粘性の評価を試みた。k’15~2 = 13.0%と高品質なScAlN薄膜の作製に成功した。さらに、グリセリン水溶液の濃度変化に伴う反共振周波数ピークの変化が観測された。

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2016-04-01 - 2019-03-31

【配分額】16,380千円 (直接経費: 12,600千円、間接経費: 3,780千円)