雲母を基板とするフレキシブルエレクトロニクスの創成
【研究分野】無機工業材料
【研究キーワード】
雲母 / 窒化物半導体 / フレキシブルエレクトロニクス / GaN / スパッタ
【研究成果の概要】
本研究では、安価で大面積な雲母（マイカ）基板上への高品質GaN系半導体結晶成長技術の開発と、フレキシブル発光素子の作製を行った。マイカ基板上へのGaNエピタキシャル成長において、界面AlNバッファ層導入の有無によってGaN薄膜の極性制御が可能になることを見出した。また、量子井戸構造作製技術や伝導性制御技術を開発し、マイカ上で発光素子を動作させる事に成功した。さらに、湾曲した状態でのLED動作も確認した。本研究で開発したマイカ上へのⅢ族窒化物デバイス作製技術を用いれば、フレキシブルな透明窒化物エレクトロニクスの実現が期待できる。
【研究代表者】
【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2012-05-31 - 2015-03-31
【配分額】45,630千円 (直接経費: 35,100千円、間接経費: 10,530千円)