【研究分野】電子・電気材料工学

【研究領域課題番号】19360137 (KAKENデータベースで見る）

【研究キーワード】

電気・電子材料 / 微小共振器 / 励起子 / 励起子ポラリトン / 酸化亜鉛 / エピタキシー / ヘリコン波励起プラズマ

【研究成果の概要】

微小共振器ポラリトンレーザは新たな原理によるコヒーレント光源として興味深い。本研究では、独自のヘリコン波励起プラズマスパッタ法により、酸化亜鉛をベースとする微小共振器構築に必須な酸化マグネシウム亜鉛系半導体のエピタキシャル成長を行った。また、誘電体及び導電性分布ブラッグ反射鏡の設計と作製を行い、新規導電性酸化膜(アナターゼ相ニオブ添加酸化チタン)のエピタキシャル成長にも成功した。安価なスパッタ技術で先端エピタキシー技術と遜色の無い上記材料群のエピタキシャル成長が可能な事を示した成果を発展させることにより、ヘテロ構造、量子構造デバイス形成への道を拓くことができた。

【研究種目】基盤研究(B)

【研究期間】2007 - 2009

【配分額】16,640千円 (直接経費: 12,800千円、間接経費: 3,840千円)