超臨界流体イオンビームを用いた新しい材料表面処理/加工テクノロジーの開発
【研究分野】材料加工・処理
【研究キーワード】
プラズマ処理 / レーザー加工 / イオンビーム / 超臨界イオンビーム / 超臨界流体プラズマ / 材料表面加工 / 表界面プロセス工学
【研究成果の概要】
本研究では、超臨界流体イオン(イオンビーム)の創製、イオン源であるプラズマの分光学的診断、及び、その材料表面処理/加工プロセスへの応用を行った。また、そのプロセスの低温性、環境親和性などの実証を行った。その結果、そのトータルとしての革新的なハイパフォーマンス材料表面加工テクノロジーの可能性を示した。
【研究代表者】
【研究種目】挑戦的萌芽研究
【研究期間】2012
【配分額】4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)