表面フォノンポラリトンによるマイクロ・ナノ構造物の熱伝導特性計測
【研究分野】熱工学
【研究キーワード】
マイクロ・ナノデバイス / ナノチューブ / 表面フォノンポラリトン / ナノスケール伝熱 / 熱工学 / ナノスケール伝達 / マイクロヒーター / 熱ショックタンパク質
【研究成果の概要】
本研究の目的は、今まで知られてなかった、特にアモルファスシリコンナノチューブ(ナノ構造物)において表面フォノンポラリトン(フォノンと電磁波とのカップリングによってできる表面に局在した縦波結合波)に起因した熱伝導への変換特性に関する新しい物理現象を初めて数値解析及び実験的に検証しようとすることである。物体表面を伝播する表面フォノンポラリトンの伝搬長さに着目し、これを大きくするウェーブガイドの作成と加熱実験を行った。表面フォノンポラリトンによる面内熱輸送量増加を目的とし、ウェーブガイドとしてその直径がマイクロスケールであるパイレックスチューブを、またMEMSプロセス技術を利用してSiウェハ上にSiO2薄膜を作成した。分散関係と伝搬長さの解析結果をもとに各ウェーブガイドを加熱、表面温度を赤外線温度計で計測することで表面フォノンポラリトンの面内熱輸送に対する影響の評価を試みた。
【研究代表者】
【研究分担者】 |
| 高間 信行 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 技術専門員 | (Kakenデータベース) |
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【研究連携者】 |
| ヴォルツ セバスチャン | 東京大学 | 生産技術研究所 | 外国人客員研究員 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】基盤研究(B)
【研究期間】2010 - 2012
【配分額】19,240千円 (直接経費: 14,800千円、間接経費: 4,440千円)