変位増幅型マイクロアクチュエータの開発研究
【研究分野】知能機械学・機械システム
【研究キーワード】
マイクロマシン / ユーザーインターフェース / 知能機械 / バーチャルリアリティ / マルチモーダルインターフェース
【研究成果の概要】
皮膚を機械的に変形、皮膚内部に分布する触覚受容器群を時空間的に刺激し、触覚情報を人に提示する触覚ディスプレイや、大容量のマイクロバルブの実現には、大変位マイクロアクチュエータの開発が不可欠である。本研究では特に、MEMS技術を用い、上下面で断面積の異なるマイクロチャンバ内に非圧縮性流体を封入した変位増幅機構を有する、変位増幅型マイクロアクチュエータを実現し、特性評価を行った。
【研究代表者】
【研究種目】若手研究(B)
【研究期間】2009 - 2010
【配分額】4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)