ナノ機械振動子の量子的挙動に関する研究
【研究分野】生産工学・加工学
【研究キーワード】
ナノメカニクス / 量子的挙動 / 振動子 / グラフェン / 集束イオンビーム化学気相 成長法 / 超伝導ナノデバイス / 集束イオンビーム化学気相成長法 / FIB-CVD / Q値 / 歪印加 / SQUID
【研究成果の概要】
ナノ機械振動子の材料の一つとしてグラフェンに注目した.グラフェン機械振動子のQ値(エネルギ散逸の逆数)の向上を目指して,支持構造にSU-8を使用し,これをアニールすることによって歪印加が可能なグラフェン振動子作製法を提案した.この方法で作製したグラフェン振動子の室温でのQ値が7000を超えることを確認した.Q値向上の要因を支持条件の改善,歪印加による熱弾性ダンピングの低下,並びに量子的観点から考察した.
【研究代表者】
【研究種目】挑戦的萌芽研究
【研究期間】2010 - 2012
【配分額】3,640千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 540千円)