【研究分野】ナノマイクロシステム

【研究領域課題番号】15K17453 (KAKENデータベースで見る）

【研究キーワード】

ナノG / 加速度 / MEMS / ナノマイクロセンサ / 金 / 金合金 / 結晶 / 金めっき / ナノ結晶 / 電解めっき / 加速度センサ / ノイズ / カンチレバー / 電解金めっき / パルス金めっき

【研究成果の概要】

試作したAu合金デバイスのノイズ評価値は30nG/√Hz以下であり，目標性能（慣性分解能0.1μG以下）を達成した。また，デバイスの長期振動特性評価の結果，一般的に金属疲労が生じる100万回以上の振動を印加後でも機械故障がなかった。温度特性評価を実施した結果，-50℃～100℃の温度変化後でも機械故障は見られなかった。さらに，試作デバイスと市販容量検出回路を組み合わせて加速度センサモジュールを開発し，身体の加速度計測デモを実施した。
機械強度の観点では，目標性能（降伏強度1GPa）を超えるAu合金材料の開発に成功した。
以上より，ナノG検出へ向けたAu合金加速度検出デバイスの実現見通しを得た。

【研究種目】若手研究(B)

【研究期間】2015-04-01 - 2018-03-31

【配分額】4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)