❏表面形状と光学的厚さ分布の同時測定を特徴とした波長走査干渉法に関する研究(20656024)
【研究テーマ】生産工学・加工学
【研究種目】挑戦的萌芽研究
【研究期間】2008 - 2009
【研究代表者】光石 衛 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (90183110)
【キーワード】光計測 / 表面形状 / 厚さ分布 / 位相シフト法 / 波長走査法 (他8件)
【概要】本研究では,マスクガラスや結晶等の超精密光学材料の表面形状と絶対的な光学的厚さ分布を同時に測定する新しい手法を提案する.そのために,1)波長走査干渉により,透明材料の表面形状と光学的厚さ分布を同時に測定する干渉計測法の方法を策定すること,2)位相シフト法と波長走査法を統合することにより,従来の波長走査による絶対的厚さ分布計測の分解能3umを30nmまで向上させることを目的とする. 波長走査法は,周...