リソグラフィを用いずにナノ構造を作るための金型製造技術の開発
【研究分野】生産工学・加工学
【研究キーワード】
マイクロ・ナノデバイス / 機械工作・生産工学 / 結晶成長 / エネルギー効率化 / 燃料電池
【研究成果の概要】
本研究では、リソグラフィ技術を用いずに、数10nmから数μmのピッチや高さを有するナノ構造を形成する金型製造技術を開発する。ナノ構造を形成する技術とは、具体的に、(a)金型全面に直径が可視光波長以下の針状組織を形成するためのナノワイヤの結晶成長技術、(b)上記針状組織を円錐組織に変形する成膜・エッチング技術、(c)金型全面に直径が可視光波長以下の円柱穴組織を形成するための通電孔生成を伴う陽極酸化技術、(d)上記円柱穴組織を円錐穴組織に変形する段階的なエッチング技術、(e)金型全面に球状組織を形成するための樹脂や金属の球含有のメッキ技術、などである。
【研究代表者】
【研究分担者】 |
| 長藤 圭介 | 東京大学 | 大学院工学系研究科 | 講師 | (Kakenデータベース) |
| 土屋 健介 | 東京大学 | 生産技術研究所 | 准教授 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】基盤研究(A)
【研究期間】2012-04-01 - 2015-03-31
【配分額】46,540千円 (直接経費: 35,800千円、間接経費: 10,740千円)