固体炭素源を用いた転写フリーなグラフェン成長法の開発とその発光素子の光通信応用
【研究キーワード】
ナノカーボン / グラフェン / 光デバイス / 発光素子 / 急速熱アニール / 化学気相成長
【研究成果の概要】
現在、実用化されている代表的な赤外光源として、LEDや半導体レーザーに主に用いられている化合物半導体は、シリコン基板上に直接形成することが難しく、微小な光源をシリコン基板上に集積化することが困難であった。本研究では、基板上に直接成長できる転写フリーなグラフェン作製法を確立し、確立した手法により作製したグラフェンを発光素子化し、その電気特性・発光特性を評価することによって、発光素子の高輝度化・高速化に向けたグラフェン材料及びデバイス構造の学理を追求し、高集積化のためのデバイス構造や最適な作製プロセスを提案した。
【研究代表者】
中川 鉄馬 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 戦略的研究シーズ育成プロジェクト 研究員(任期有)
(Kakenデータベース)【研究種目】若手研究
【研究期間】2020-04-01 - 2022-03-31
【配分額】3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)