量子ビームを用いた高アスペクトマルチナノアレイエレクトロッドの作製
【研究分野】原子力学
【研究キーワード】
量子ビーム / ナノ粒子 / 金属還元 / アレイ電極 / プラズマ / ナノ加工 / 超低エネルギーEB / マイクロアレイ / ナノ材料
【研究成果の概要】
架橋体を含むパーフルオロ系高分子に対して、各種イオンビームにより、マイクロ～ナノサイズで制御された精密微細加工を行った。その後、グラフト重合により機能化し銀イオンを担持した試料を調製した。量子ビームにより固相中直接還元を行い、SEM-EDXやXPSで構造解析を行った結果、純銀ナノ粒子を確認できた。また、加工体を観察した結果、60. m角のアレイ状の電極を作製ができた。また、直接パターニングにより幅800nmの金属還元微細加工体の作製に成功した。
【研究代表者】
【研究協力者】 |
| 田川 精一 | 大阪大学 | 産業科学研究所 | 特任教授 | (Kakenデータベース) |
| 鷲尾 方一 | 早稲田大学 | 理工学術院 | 教授 | (Kakenデータベース) |
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【研究種目】若手研究(A)
【研究期間】2009 - 2011
【配分額】26,910千円 (直接経費: 20,700千円、間接経費: 6,210千円)