東京大学 研究シーズ|
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研究キーワード：東京大学における「有機金属化学」 に関係する研究一覧：2件
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発表日：2026年7月10日
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二次元半導体の直接成長ウェハ上でのトランジスタ基本動作を初実証
―転写プロセスに頼らない集積回路用プラットフォームへ道―
東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻の長汐晃輔教授らの研究グループは、物質・材料研究機構（NIMS）および名古屋大学との共同研究により、有機金属化学気相成長法（MOCVD法、注1）でサファイア基板上に成長した単結晶MoS2（二硫化モリブデン）において、本来のトランジスタ特性（電流の明確なオン・オフ動作）が出ないという性能低下の要因が、界面に残存する硫酸基・水分子由来種による“隠れた電子ドーピング”であることを解明しました。本研究では、この問題を解決するため、デバイス加工（パターン形成）後にH2/Arアニールを行う「完全ドライ界面制御...
キーワード：人工知能（AI）/金属元素/光電子分光/水分子/低次元/二次元物質/テクトニクス/パターン形成/アニール/高移動度/モリブデン/有機金属化学/原子層/有機金属/結合状態/光機能/電子分光/前駆体/トランジスタ/パワーデバイス/二硫化モリブデン/半導体デバイス/微細化/ボトルネック/発光ダイオード（LED）/半導体産業/ドーピング/界面構造/光機能材料/単結晶/界面制御/シリコン/トラップ/ナノメートル/レーザー/移動度/結晶成長/酸化物/集積回路/低消費電力/熱処理/半導体/微細加工/分光分析/光学顕微鏡/機能材料/ナノテクノロジー/ラット
他の関係分野：情報学環境学数物系科学化学総合理工工学総合生物農学
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発表日：2026年1月22日
2
次世代半導体MoS₂の革新的ウエハースケール成膜技術を開発
―結晶成長の自己整合および自己停止メカニズムにより高移動度を達成―
物質・材料研究機構（NIMS）の佐久間 芳樹NIMS特別研究員と東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻の長汐 晃輔 教授らの研究グループは、名古屋大学、筑波大学、東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ（株）との共同研究により、有機金属化学気相成長法（MOCVD、注1）を用いた単層膜厚の二硫化モリブデン（MoS2）の成長に関して、サファイア基板上でのMoS2結晶粒の自己整合的な合体と成長膜厚の自己停止という2つの重要な成膜メカニズムを発見しました。これらのメカニズムを利用することで、単層MoS2単結晶膜をウエハース...
キーワード：モノのインターネット（IoT）/情報通信/金属元素/光エネルギー/時間分解/準安定/対称性/テクトニクス/差分法/高移動度/モリブデン/電子移動/有機金属化学/二次元材料/カルコゲナイド/ラマン/原子層/有機金属/光機能/CVD法/遷移金属/前駆体/DFT/MOSFET/エピタキシャル成長/トランジスタ/パワーデバイス/ファンデルワールス力/フォノン/光通信/遷移金属ダイカルコゲナイド/大規模集積回路/電子デバイス/特性ばらつき/二硫化モリブデン/半導体デバイス/半導体材料/微細化/機械的特性/温度依存性/発光ダイオード（LED）/半導体産業/STEM/エピタキシャル/ドメイン構造/界面エネルギー/光機能材料/単結晶/電子回折/電子状態/核生成/光学特性/CVD/シリコン/センサー/ナノメートル/ひずみ/レーザー/移動度/結晶化/結晶成長/結晶粒界/酸化物/集積回路/第一原理/第一原理計算/低消費電力/電子顕微鏡/透過電子顕微鏡/半導体/密度汎関数理論/量子力学/機能材料/マッピング/結晶構造
他の関係分野：情報学複合領域環境学数物系科学化学総合理工工学農学