本学工学部基盤工学科の東口武史教授、理化学研究所（理研）光量子工学研究センター未踏レーザー科学研究チームの高橋栄治チームディレクターらの国際共同研究グループは、先端半導体を製造する露光装置の駆動レーザーとして期待される、波長2マイクロメートル（µm、1µmは100万分の1メートル）の固体レーザー（2µm固体レーザー）を用いた極端紫外（EUV）光発生において、マルチレーザー照射法が有効であることを初めて実証しました。 本研究成果は、EUV露光装置で必要とされる駆動レーザーエネルギーの低減や省電力化につながると期待されます。 現在のEUV露光装置で...