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東北大学 研究シーズDiscovery Saga
研究キーワード:東北大学における「MEMS」 に関係する研究一覧:4
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発表日:2026年9月3日
1
MEMS一体型の単結晶ダイヤモンド量子センサー実現
―振動中の曲げ応力を直接検出―
機械や微小構造の内部応力を直接計測する技術は、MEMSデバイスの状態監視や高機能化において重要です。東北大学大学院工学研究科の戸田雅也准教授らの研究グループは、物質・材料研究機構(NIMS)の研究者らと共同で、SCDから作製したMEMSカンチレバー内部のNVセンターを、そのまま応力センサーとして利用する手法を実証しました。本研究では、カンチレバーの振動に伴う引張・圧縮の曲げ応力に応じて、ODMRの周波数が変化することを確認しました。さらに、振動周期に合わせた動的な応力変化の計測にも成功しました。本成果は、機械構造と量子センシング領域を単一デバイス内に一体化できることを示しており、今...
キーワード:グラファイト/磁気共鳴/磁場/耐熱性/NVセンター/量子センシング/カンチレバー/持続可能/持続可能な開発/ヤング率/単結晶/内部応力/CVD/MEMS/イオン注入/スピン/センサー/センシング/マイクロ/マイクロ波/格子欠陥/結晶方位/周波数/振動特性/動特性/半導体/微細加工/力センサー/微細加工技術
他の関係分野:数物系科学化学総合理工工学総合生物
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発表日:2026年6月17日
2
ダイヤモンド光デバイスの共鳴波長制御に成功
―MEMS技術により量子フォトニクスデバイスの高機能化へ―
ダイヤモンドは、カラーセンター(注4)を有し、量子情報処理を支える有力材料として注目されています。一方、フォトニック結晶は光を閉じ込めたり制御したりできる構造であり、光と量子状態の相互作用を高める役割を担います。この両者を組み合わせたダイヤモンドフォトニック結晶は、量子フォトニクス(注5)デバイスを実現するための重要な要素技術として研究されていますが、加工誤差によって共鳴波長が変化しやすく、製造後に光学特性を調整する技術が求められていました。東北大学大学院工学研究科ロボティクス専攻の金森義明教授らの研究グループは、UNCD製フォトニック結...
キーワード:コンピューティング/閉じ込め/量子情報/量子情報処理/量子通信/光学材料/NVセンター/フォトニクス/光デバイス/持続可能/持続可能な開発/量子コンピューティング/光学特性/MEMS/アクチュエータ/ナノメートル/ロボティクス/耐久性/微細加工/微細加工技術
他の関係分野:情報学数物系科学化学総合理工工学総合生物
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発表日:2026年5月7日
3
6G通信に向けたテラヘルツ光スイッチを開発
―単層シリコン基板で導波路とMEMSの一体化を世界初実証―
スマートフォンやIoT機器の普及により通信量は年々増加しており、次世代の6G通信では、より高速・大容量のデータ通信を実現する新技術が求められています。その有力な候補として「テラヘルツ波」と呼ばれる高周波の電波が注目されており、これを効率よく扱う小型・省電力デバイスの開発が重要となっています。中でも、テラヘルツ波の通り道を切り替えやオン・オフの制御を行う光スイッチなどの動的変調デバイスの実現は不可欠です。東北大学大学院工学研究科ロボティクス専攻の金森義明教授らの研究グループは、このテラヘルツ波帯で動作する光スイッチを開発しました。本研究では、微小な機械構造を駆動するMEMS...
キーワード:移動通信/無線通信/ミリ波/モノのインターネット(IoT)/テラヘルツ光/高周波/テラヘルツ/赤外線/テラヘルツ波/光スイッチ/導波路/持続可能/省エネ/持続可能な開発/MEMS/シリコン/センサー/ロボティクス/携帯電話/周波数/集積回路/省エネルギー/低消費電力/電磁波/微細加工/微細加工技術/層構造/スマートフォン/遠隔医療
他の関係分野:情報学数物系科学工学総合生物
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発表日:2025年3月31日
4
リアルな触覚再現技術による、技能教育システム、心拍数共有アプリを開発しました
―体で感じる触覚の計測、編集、調整、再生が手軽に実現可能になります―
NEDOが進める「人工知能活用による革新的リモート技術開発プロジェクト」(以下、本事業)において、国立研究開発法人産業技術総合研究所(以下、産総研)、国立大学法人東北大学、国立大学法人筑波大学、株式会社Adansonsは、2024年3月に発表した極薄ハプティックMEMSによる触覚デバイスと触覚信号編集技術を組み合わせることで、指先で触れる触覚情報を手首で計測して他者に伝えることを可能とする双方向リモート触覚伝達システムを開発しました。これを基盤とした実用例としてAR技能教育システムと心拍数共有アプリと、その性能を向上する技術を開発しました。開発にあたり各者の役割は以下となります。...
キーワード:AI/自然言語/情報学/信号処理/人工知能(AI)/教育システム/心拍数/産学連携/持続可能/持続可能な開発/MEMS/ひずみ/ロボット
他の関係分野:情報学複合領域工学