「超音波」に関するサイレントキーワード「薄膜」が含まれる科研費採択研究3件

【研究名】圧電性結晶膜を用いた集束型高周波高出力超音波トランスデューサの開発と評価
【研究代表者】石河 睦生  桐蔭横浜大学   医用工学部   講師 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090451864/	 
【研究分担者】
田原 麻梨江  東京工業大学  科学技術創成研究院  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060721884/	

【研究名】電子デバイス用薄膜の弾性定数の超音波顕微鏡による測定
【研究代表者】朴 位坤  東京工業大学   工学部   助手 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060238243/	 
【研究分担者】
轟 章  東京工業大学  工学部  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050211397/	
中村 春夫  東京工業大学  工学部  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040134829/	
小林 英男  東京工業大学  工学部  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000016487/	

【研究名】多層積層構造超LSI形成時の残留応力解析と超音波を用いた信頼性評価技術の開発
【研究代表者】小林 英男  東京工業大学   工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000016487/	 
【研究分担者】
清水 翼  日立製作所機械研第3部  部長(研究員/	
朴 位坤  東京工業大学  工学部  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060238243/	
轟 章  東京工業大学  工学部  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050211397/	
荒居 善雄  埼玉大学  工学部  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070175959/	
中村 春夫  東京工業大学  工学部  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040134829/	
笠井 憲一  日立製作所  機械所  研究員