「リソグラフィー」に関するサイレントキーワード「設計工学」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】次世代リソグラフィ技術に対応した物理設計技術開発
【研究代表者】高橋 篤司  東京工業大学   理工学研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030236260/	 
【研究分担者】
小平 行秀  会津大学  コンピュータ理工学部  上級准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000549298/