「薄膜」に関するサイレントキーワード「微細加工」が含まれる科研費採択研究6件

【研究名】MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究
【研究代表者】下河辺 明  東京工業大学   精密工学研究所   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040016796/	 
【研究分担者】
進士 忠彦  東京工業大学  精密工学研究所  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060272720/	
秦 誠一  東京工業大学  フロンティア創造共同研究センター  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050293056/	
桜井 淳平  東京工業大学  精密工学研究所  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040345385/	

【研究名】ショットノイズ測定による強相関物質の電荷素励起の研究
【研究代表者】前田 京剛  東京大学   大学院・総合文化研究科   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070183605/	 
【研究分担者】
北野 晴久  東京大学  大学院・総合文化研究科  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000313164/	
山下 努  弘前大学  理工学部  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030006259/	

【研究名】基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作研究
【研究代表者】秦 誠一  東京工業大学   精密工学研究所   助手 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050293056/	 
【研究分担者】
市原 順一  株式会社富士通研究所  Mプロジェクト  主幹研究員
下河辺 明  東京工業大学  精密工学研究所  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040016796/	

【研究名】レーザマイクロフォーミングによる金属ガラス薄膜微小構造物の形状制御
【研究代表者】下河辺 明  東京工業大学   精密工学研究所   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040016796/	 
【研究分担者】
秦 誠一  東京工業大学  精密工学研究所  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050293056/	
佐藤 海二  東京工業大学  総合理工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000215766/	

【研究名】薄膜金属ガラス微細梁の三次元微細成形とマイクロプローブへの応用
【研究代表者】下河辺 明  東京工業大学   精密工学研究所   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040016796/	 
【研究分担者】
和田 晃一  株式会社アドバンテスト研究所  MIC研究室  研究員
秦 誠一  東京工業大学  精密工学研究所  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050293056/	
佐藤 海二  東京工業大学  総合理工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000215766/	

【研究名】薄膜金属ガラスの研究
【研究代表者】秦 誠一  東京工業大学   精密工学研究所   助手 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050293056/	 
【研究分担者】
佐藤 海二  東京工業大学  総合理工学研究科  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000215766/	
下河辺 明  東京工業大学  精密工学研究所  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040016796/