「走査型トンネル顕微鏡(STM)」に関するサイレントキーワード「微細加工」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】STMの原理によるマイクロ部品の形状測定
【研究代表者】三井 公之  慶応義塾大学   理工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090219668/