「表面改質」に関するサイレントキーワード「活性化」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】量子化イオン照射による半導体ナノ構造の加工と特性制御
【研究代表者】大泊 巌  早稲田大学   理工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030063720/	 
【研究分担者】
原 謙一  早稲田大学  理工学部  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040298162/	
豊島 義明  東芝セミコンダクター社  マイクロエレクトロニクス研究所  主査
松川 貴  早稲田大学  理工学部  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070287986/