「レーザー」に関するサイレントキーワード「超精密加工」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】超短パルス高出力フラッシュランプ照射による単結晶シリコン加工変質層の完全修復 【研究代表者】閻 紀旺 慶應義塾大学 理工学部 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040323042/