「薄膜」に関するサイレントキーワード「イオンビームスパッタ」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】力学エネルギー発光素子の開発と高輝度化
【研究代表者】村石 信二  東京工業大学   大学院・理工学研究科   助教 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070345156/