「リソグラフィー」に関するサイレントキーワード「集束イオンビーム」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】集束イオンビ-ムを用いた超格子リ-ス縦型電界効果トランジスタの試作
【研究代表者】生駒 俊明  東京大学   生産技術研究所   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000080013118/	 
【研究分担者】
平川 一彦  東京大学  生産技術研究所  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010183097/	
河東田 隆  東京大学  工学部  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090013739/