「超薄膜」に関するサイレントキーワード「誘電体物性」が含まれる科研費採択研究2件

【研究名】PA-ALD法による高誘電体薄膜の低温形成と欠陥・界面制御に関する基盤研究
【研究代表者】福田 幸夫  諏訪東京理科大学   システム工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050367546/	 
【研究分担者】
石崎 博基  諏訪東京理科大学  システム工学部  助教  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020383507/	
王谷 洋平  諏訪東京理科大学  システム工学部  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040434485/	

【研究名】ナノメートル誘電体・薄膜の電子物性の理解と制御の研究
【研究代表者】鳥海 明  東京大学   大学院・工学系研究科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050323530/	 
【研究分担者】
喜多 浩之  東京大学  大学院・工学系研究科  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000343145/	
西村 知紀  東京大学  大学院・工学系研究科  技術専門職員  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010396781/	
【研究連携者】     
喜多 浩之  東京大学  大学院・工学系研究科  准教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000343145/	
西村 知紀  東京大学  大学院・工学系研究科  技術専門職員  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010396781/