「超臨界流体」に関するサイレントキーワード「強誘電体薄膜」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】超臨界流体を用いた強誘電体メモリ用複合酸化物薄膜の形成
【研究代表者】百瀬 健  東京大学   大学院工学系研究科(工学部)   講師 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010611163/