「結晶化」に関するサイレントキーワード「核発生」が含まれる科研費採択研究2件

【研究名】Niドーパント分布場の積極的導入によるアモルファスシリコンの大粒径結晶化
【研究代表者】野田 優  東京大学   大学院・工学系研究科   助手 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050312997/	
【研究名】変調操作を用いた非定常状態の積極利用によるULSI積層配線作製プロセスの高度化
【研究代表者】霜垣 幸浩  東京大学   大学院・工学系研究科   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060192613/	 
【研究分担者】
大場 隆之  株式会社半導体先端テクノロジーズ  基盤技術研究部  主任研究員
濱村 浩孝  日本学術振興会  特別研究員