「エッチング」に関するサイレントキーワード「マイクロローディング効果」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】ECRプラズマエッチング装置による化合物半導体エッチング反応機構の解明
【研究代表者】霜垣 幸浩  東京大学   工学部   講師 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060192613/