「超臨界流体」に関するサイレントキーワード「薄膜堆積」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】超臨界プラズマビームを用いた新しい材料表面処理/加工テクノロジーの創製
【研究代表者】寺嶋 和夫  東京大学   大学院・新領域創成科学研究科   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030176911/	 
【研究分担者】
越崎 直人  産業技術総合研究所  界面ナノアーキテクトニクスセンター  研究チーム長  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040344197/