「リソグラフィー」に関するサイレントキーワード「高分子繊維」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】静電誘導ファイバー高度集積化によるヤモリ型静電チャック創製と物体操作技術への展開
【研究代表者】齋藤 滋規  東京工業大学   環境・社会理工学院   准教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000030313349/	 
【研究分担者】
鞠谷 雄士  東京工業大学  理工学研究科  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070153046/	
高橋 邦夫  東京工業大学  理工学研究科  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070226827/