「薄膜」に関するサイレントキーワード「測定法」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】マイクロカンティレバーを用いた超高感度熱流束測定法の開発と薄膜蒸着過程への応用
【研究代表者】井上 剛良  東京工業大学   工学部   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020193592/	 
【研究分担者】
中別府 修  東京工業大学  工学部  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050227873/