「超音波」に関するサイレントキーワード「インプロセス計測」が含まれる科研費採択研究1件 【研究名】次世代FMS用高度機能集積形主軸構造に関する研究 【研究代表者】新野 秀憲 東京工業大学 精密工学研究所 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040196639/ 【研究分担者】 橋詰 等 東京工業大学 精密工学研究所 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050218400/ 稲場 千佳郎 東京工業大学 工学部 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010223231/ 割澤 伸一 東京工業大学 精密工学研究所 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020262321/ 伊東 誼 東京工業大学 工学部 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060016441/