「光学」に関するサイレントキーワード「マイクロ成型」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】薄膜ガラス材料を用いたOpt-MEMS
【研究代表者】下河辺 明  東京工業大学   精密工学研究所   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040016796/	 
【研究分担者】
秦 誠一  東京工業大学  精密工学研究所  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050293056/	
進士 忠彦  東京工業大学  精密工学研究所  助教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060272720/