「シミュレーション」に関するサイレントキーワード「テーブルシステム」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】次世代超LSI製造用高速サブナノ位置決めテーブルシステムの開発
【研究代表者】新野 秀憲  東京工業大学   精密工学研究所   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040196639/	 
【研究分担者】
佐藤 忠一  日本精工株式会社  軸受技術センター  主席技師
橋詰 等  東京工業大学  精密工学研究所  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000050218400/	
稲場 千佳郎  東京工業大学  工学部  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010223231/	
割澤 伸一  東京工業大学  精密工学研究所  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020262321/	
伊東 誼  東京工業大学  工学部  教授  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000060016441/