「複合材料」に関するサイレントキーワード「プラナリゼーション」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】先端LSIの高密度実装を可能にする金バンプ・レジスト薄膜の超精密切削平担化技術
【研究代表者】閻 紀旺  東北大学   大学院・工学研究科   助教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040323042/